Insulator Keramik 5-Axis untuk Peralatan Semikonduktor & Ruang Bersih

Dalam dunia manufaktur semikonduktor dan lingkungan ruang bersih yang berisiko tinggi, setiap komponen harus memberikan kinerja yang sempurna.PFT, kami mengkhususkan diri dalam membuatIsolator keramik giling 5-sumbuyang mendefinisikan ulang ketepatan dan keandalan. Dengan lebih dari 20+Dengan pengalaman bertahun-tahun, solusi kami dirancang untuk memenuhi tuntutan ketat peralatan semikonduktor, memastikan stabilitas termal, isolasi listrik, dan pengoperasian bebas kontaminasi dalam pengaturan yang sangat sensitif.

Mengapa Memilih Isolator Keramik Giling 5-Sumbu Kami?

1.Kemampuan Manufaktur Lanjutan

Fasilitas kami dilengkapi denganmesin penggilingan CNC 5-sumbu yang canggih, memungkinkan akurasi tingkat mikron dalam membentuk keramik canggih seperti alumina (Al₂O₃), silikon karbida (SiC), dan aluminium nitrida (AlN). Tidak seperti metode konvensional, pemesinan 5 sumbu memungkinkan geometri kompleks—penting untuk komponen seperti pin pengangkat wafer, komponen ruang pengendapan, dan isolator tahan plasma.

Fitur Utama:

•Presisi:Toleransi ±0,005 mm untuk integrasi mulus ke dalam alat litografi ASML atau sistem etsa Lam Research.
•Keserbagunaan Material:Dioptimalkan untuk 99,8% alumina, SiC kemurnian tinggi, dan keramik canggih lainnya.
•Permukaan Akhir:Ra <0,2μm untuk meminimalkan pembentukan partikulat di ruang bersih ISO Kelas 1.

2.Rekayasa Proses Milik Sendiri

Teknisi kami telah mengembangkankontrol proses loop tertutupyang beradaptasi dengan kerapuhan keramik selama pemesinan. Dengan menggabungkan teknik penggilingan kering dengan peredaman getaran waktu nyata, kami memperoleh permukaan bebas retak dan masa pakai komponen yang lebih lama—bahkan di bawah siklus termal ekstrem (hingga 1.600°C).

Sorotan Inovasi:

•Protokol Penghilang Stres:Minimalkan retakan mikro pada isolator AlN untuk aplikasi CVD.
•Perawatan Pasca Pemesinan:HIP (Hot Isostatic Pressing) meningkatkan kepadatan dan ketahanan korosi.

3.Jaminan Kualitas yang Ketat

Setiap isolator mengalamiInspeksi 12 tahap, termasuk:

•CMM (Mesin Pengukur Koordinat)validasi dimensi kritis.
•Pengujian kebocoran heliumuntuk kompatibilitas vakum.
•EDS (Spektroskopi Sinar-X Dispersi Energi)untuk memverifikasi kemurnian material.

KitaSistem bersertifikat ISO 9001/14001memastikan keterlacakan dari pengadaan bahan baku (bersumber dari pemasok Tingkat 1 seperti CoorsTek) hingga pengemasan akhir.

Aplikasi: Ketika Presisi Bertemu dengan Performa

Isolator kami dipercaya dalam:

•Alat Etsa & Deposisi:Komponen berlapis SiC untuk ketahanan plasma dalam modul Applied Materials™.
•Implanter Ion:Pin pengangkat alumina dengan lapisan antistatis untuk mencegah selip wafer.
•Sistem Metrologi:Isolator ekspansi termal rendah untuk tahap litografi EUV.

Studi Kasus:OEM semikonduktor terkemuka mengurangi waktu henti peralatan hingga 40% setelah beralih ke pancuran SiC yang dirancang khusus, yang mengungguli komponen pesaing dalam pemrosesan wafer 300 mm.

Melampaui Manufaktur: Pendekatan Kemitraan

•Pembuatan Prototipe Cepat:Kirimkan file CAD Anda dan terima prototipe fungsional dalam 7 hari.
•Pengemasan Ruang Bersih di Lokasi:Perakitan ruang bersih Kelas 10 opsional untuk integrasi alat langsung.
•Dukungan Teknis Seumur Hidup:Teknisi kami menyediakan layanan analisis keausan dan permesinan ulang untuk memperpanjang siklus hidup komponen.